薛曜為元超長(zhǎng)子，褚遂良乃其舅祖，生平事跡，史記不詳。可知者為王勃文友，咸亨初年曾與之游于四川錦州，王勃有送別詩(shī)二首記其事。萬(wàn)歲登封年間(696)見(jiàn)任春宮郎中(禮部郎中)，神功年間(697)改正議大夫，與再?gòu)牡苤袝?shū)舍人薛稷并以辭學(xué)知名朝野。圣歷二年(699)為奉宸大夫，與天下名士李嶠、員半千、閻朝隱、沈儉期、徐堅(jiān)、張說(shuō)、劉知幾、宋之問(wèn)、富嘉謨等二十六人共撰《三教珠英》，凡 1300卷。久視元年(700)五月十五日侍從武則天游幸登封石淙山，應(yīng)制《奉和圣制夏日游石淙山詩(shī)》，并奉敕正書(shū)武后與諸侍從大臣的唱和詩(shī)。其后行蹤無(wú)考，或即卒于長(zhǎng)安末年(703—704)。河南登封所立《封祀壇碑》，遒密有致，為其代表作。

薛曜與薛稷同一師承，書(shū)學(xué)褚遂良，瘦硬有神,用筆細(xì)勁,結(jié)體疏朗，但較褚書(shū)險(xiǎn)勁，更纖細(xì)，在當(dāng)時(shí)享有大名，被后人評(píng)為“宋徽宗瘦金體之祖”（趙佶真書(shū)學(xué)薛曜，自創(chuàng)“瘦金體”）。他對(duì)褚書(shū)不作亦步亦趨的模仿，而是加以發(fā)揮，有所創(chuàng)造，然亦成習(xí)氣，為褚書(shū)末流。 作品欣賞：《夏日游石淙詩(shī)并序》

《夏日游石淙詩(shī)并序》是薛曜的代表作，為“石淙河摩崖題記”之一。“石淙河摩崖題記”，唐久視元年（700年）三月十九日刻。高3.7米，寬3.7米，楷書(shū)，39行，行42字，為河南省最大的摩崖碑刻，分為《夏日游石淙詩(shī)并序》和《秋日宴石淙序》兩部分。唐大周圣歷三年（700年）夏季，武后則天率群臣巡游中岳嵩山，登封峻極后，避暑石淙河，曾在水漂石上大宴群臣。武則天即興作詩(shī)一首《夏日游石淙》，命從臣16人奉和詩(shī)名為《侍游應(yīng)制》，武則天又作序《夏日游石淙詩(shī)并序》，命薛曜書(shū)寫(xiě)，讓工匠刻于崖壁上。16位從臣是：李顯、李旦、武三思、狄仁杰、張易之、張宗昌、李嶠、勞味道、姚元崇、閻朝隱、崔融、薛曜、徐彥伯、楊敬述、于季子和沈佺期。武則天在此宴請(qǐng)群臣一事，兩唐書(shū)武后本紀(jì)失載，此碑可補(bǔ)其闕。詩(shī)作已收入《全唐詩(shī)》，刻本文字稍異，以碑刻為是。《秋日宴石淙序》，張易之撰文。內(nèi)容主要描繪石淙河的山水景物。二者的書(shū)者皆為薛曜，其書(shū)法瘦勁奇?zhèn)ィ?被歷代書(shū)家稱(chēng)為“宋徽宗瘦金體之祖”，存世作品極少，因而十分珍貴。

清人葉昌熾《語(yǔ)石》有評(píng)“ 觀《石淙序》，其轉(zhuǎn)折之處運(yùn)筆太重，如黛干霜皮，礧砢多節(jié)，又如側(cè)出之水竹箭，奔騰至千里，一曲之處，忽搏而過(guò)顙，不免捉衿肘見(jiàn)矣。余謂必欲學(xué)曜書(shū)，尚不如《封祀壇銘》，不失河南三龕矩鑊。”

有弟二人：薛毅官至太子舍人，薛俊官至慈州刺史。

特別重要的是，不管是按照西安碑林的資料顯示，還是按照薛瓘，薛曜，薛紹三人的經(jīng)歷判斷，都可以確定薛瓘，薛曜不可能是同一人。薛瓘是薛曜的叔伯父、薛元超的堂兄弟。也就是說(shuō)薛曜與薛稷，薛顗，薛紹等人的堂兄弟。